Der Aufbau besteht aus unterschiedlichen Komponenten:
 

1. Die Messeinrichtung ist auf einem optischen Tisch der Firma Newport (VH-3036-OPT-08, 750 mm x 900 mm) aufgebaut, der die Trägerplatte nach einer Störung mit Hilfe von Pressluft innerhalb kurzer Zeit  (~ 1 s) wieder stabilisiert.
2. Darauf ist ein Kreuztisch montiert, der aus zwei Schlitten (NCB 76-K2-Ni-LS-Q) der Firma Schneeberger mit 1000 mm bzw. 600 mm maximalem Verfahrweg besteht. Der Winkelfehler ist kleiner 10 Winkelsekunden über den gesamten Hub. Die Grundtoleranz des Ablauffehlers ist kleiner als 12 µm pro100 mm Hub. Diese Toleranz ist reproduzierbar, so dass sie bei Differenzmessungen nicht relevant ist.
3. Die Proben können auf dem vorderen Ende des oberen Schlittens montiert werden. Die zu vermessende Probe kann damit in x-y-Richtung relativ zu den vertikal eingebauten Messtastern  positioniert werden, deren Halterung auf der Platte des optischen Tisches angeschraubt ist. Zur genaueren Positionierbarkeit ist an jedem Schlitten zusätzlich ein externer Glasmaßstab montiert. Zur Dickenmessung sind zwei inkrementale Messtaster in einer U-förmigen Halterung montiert.
4. Sowohl die Messtaster als auch die Glasmaßstäbe sind von der Firma Heidenhain. Die Glasmaßstäbe (Typ LS 506) haben eine Genauigkeitsklasse von ± 3 µm und kleinste empfohlene Messschritte von 0.5 µm. Die Messtaster (Typ CERTO CT60) haben einen maximalen Messweg von je 60 mm und eine Genauigkeit von  ± 0.1 µm. Zur Anzeige der einzelnen Signale der beiden Taster oder ihres Differenzsignals (= Dicke) ist die Messwertanzeige ND 231 vorhanden.
5. Die Ansteuerung des Kreuztisches erfolgt über eine Bahnsteuerung SM 320 der Firma SM Elektronik, mittels zweier Servomotoren. Die Steuerung kann alternativ direkt über eine Folientastatur oder über eine RS 232-Schnittstelle von einem PC aus angesprochen werden. Die Gesamtsteuerung des Messtisches, d.h. Messparametereingabe, Implementierung der Bahnsteuerung, Steuerung der Messtaster, Datenaufnahme, -auswertung und -speicherung wurde von der Abteilung DVEE der GSI, namentlich  Dr. Holger Brand und Dr. Klaus Poppensieker, auf Basis von LabView entwickelt. Die Speicherung der Daten erfolgt in eine ORACLE-Datenbank. Das Projekt hatte den Namen Target Scanner.